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半導体製造における洗浄装置の種類とは?

こんにちは!
岡山県井原市で電気工事事業を展開しているFPエレクトロニクス株式会社と申します。
弊社の業務は、工場内での洗浄装置等の電気配線・組み立て業務です。
弊社が手掛ける洗浄装置の種類にはいくつかあり、メリット・デメリットもあります。
今回は、洗浄装置の種類についてお伝えし、弊社の業務内容を知っていただきたいと思い執筆いたしました。
協力会社様の募集に関しても記載しておりますので、ぜひ最後までご覧ください!

洗浄装置の構成・工程

バインダーを持って指を差す男性
1種類の薬液で洗浄できる汚染は1つです。
複数の汚染を洗浄する場合は、その分、薬液槽と純水槽が増えます。
工程としては、搬送系でウェーハを搬入・搬出させ、薬液槽にて薬液でウェーハを洗浄開始です。
次に、純水槽でウェーハについた薬液を洗い流します。
最後は乾燥ステージで、ウェーハを乾燥させるという流れです。
洗浄装置の構成や工程はこのようになっています。

洗浄装置の種類

バッチ式洗浄装置

バッチ式洗浄装置は、複数のウェーハをまとめて洗浄します。
「キャリア」と呼ばれる専用のケースにウェーハを入れ、キャリアごと薬液槽に入れて洗浄することが可能です。
一度にたくさんのウェーハを洗浄できるので、スループットが上がりチップのコストダウンにつながるのがメリットだといえるでしょう。
ただし、次に紹介する枚葉式と比べて装置が大型になる・薬液や純水の使用量が多いといったデメリットがあります。

枚葉式洗浄装置

枚葉式は、バッチ式とは違いウェーハを1枚ずつ洗浄していく方法です。
洗浄方法も、ウェーハを薬液槽につけるディップ式ではなく、ノズルを使って薬液や純水を吹き付けるスプレー式になります。
枚葉式のメリットは、省スペース化が可能・汚染やパーティクルが次のウェーハに転写しない等です。
また、デメリットとしては薬液の回収や濃度コントロールが難しいことが挙げられます。

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事業展開をともにしませんか?

FPエレクトロニクス株式会社が手掛ける洗浄装置は、必要不可欠であり今後も需要は高まるでしょう。
今後ますます事業展開に力を入れることで、会社を成長させていきたいと考えております。
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ご興味のある会社様は、ぜひFPエレクトロニクス株式会社までお問い合わせください!
最後までお付き合いいただきありがとうございました。