こんにちは。
拠点を岡山県井原市に置き、全国各地にて制御盤製作やそれに伴う機内配線工事などの電気工事を承っているFPエレクトロニクス株式会社です。
半導体の製造過程において、ウエハーの洗浄は非常に大切です。
この記事では、半導体ウエハーの洗浄がなぜ重要なのか、その理由をお話しいたします。
ぜひ、最後までご覧ください。

半導体の性能に関わるから

半導体の製造工程は複数の工程から成り立っています。
実は、それぞれの工程で、金属片や有機物など、さまざまな汚れが付着してしまっています。
半導体製造ではウエハーと呼ばれる薄い板の上に集積回路を作っていきますが、非常に小さな部品であるため、微小な汚れでも、大きな妨げとなってしまうのです。
汚れをそのままにしておくと、半導体が十分な性能を発揮できないことも考えられます。
半導体がしっかりとパフォーマンスを発揮するためにも、ウエハーの洗浄は非常に重要な工程なのです。

どんな汚れを除去するの？

ウエハーの洗浄工程で除去する汚れには、さまざまなものがあります。
空気中に浮遊するゴミや金属、有機物、ナトリウムやカリウムといったアルカリイオンなどです。
これらのゴミはそれぞれに性質が異なっているため、すべて除去するためには複数の工程が必要です。
ウエハーの洗浄は複数の工程で行われており、最後にはしっかりと乾燥させる工程もあります。
このような複雑な工程を経て、半導体は作られているのです。

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