こんにちは！
岡山県井原市に拠点を構え、日本全国にて装置内配線等の電気工事を行っておりますFPエレクトロニクス株式会社です。
半導体製造装置である洗浄装置の施工を行っております。
洗浄装置はウェーハの汚れを取り除く、必要不可欠な装置です。
今回は、洗浄装置でとれる汚れに関してご説明いたします！
弊社の施工している洗浄装置の重要さ等も知っていただけると幸いです。
ぜひ最後までご覧ください！

洗浄することで取り除ける汚れ

単なるゴミ

ウェーハを梱包から取り出したり運んだりする際、工場の外気等から付着したゴミです。
ゴミのサイズは最大で数μm、最小では0.1μm以下になります。
このような小さなゴミを取り除くことで、半導体の表面等を清潔に保つことが可能です。

金属汚染

蒸発した汗に含まれるナトリウム分子や、工場内で使っている薬液に含まれる微量な重金属原子等です。
金属汚染を洗浄することで、半導体デバイスの特性を劣化することを防ぎます。

有機汚染

人のフケや垢に含まれる炭素や工場内で使う薬液に含まれる微量の炭素分子等です。
また、純水配管の中にバクテリアがあればそれも有機汚染の一つになります。

油脂

人の汗に含まれる油分等も汚れとして発生してしまいます。
油脂汚れも洗浄することで劣化を防ぐことが可能です。

自然酸化膜

ウェーハが大気に触れると、その表面が大気中の酸素と結合して10から20nm（10万分の1から2mm）の酸化膜ができます。
しかし、この酸化膜には大気中の不純物も含まれてしまうため、汚染の一つという扱いになるのです。
この自然酸化膜に関しても、洗浄装置で取り除きます。

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FPエレクトロニクス株式会社は、専門性のある業務内容を行っております。
半導体製造装置の洗浄装置は汚れを取り除くために必要不可欠ですが、身近に感じる機会が少なく、仕事のイメージもつきにくいかもしれません。
しかし、重要な役割を担っているからこそ、弊社の従業員一人一人はやりがいや達成感を感じながら、洗浄装置の配線・組み立て業務を行っております。
ご興味のある方は、ぜひ、採用ページよりご応募ください！
同時に電気工事士の求人募集も行っておりますので、ぜひご応募いただければと思います。

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最後までお付き合いいただきありがとうございました。